紅外線控溫模組改造

  • 可於基板上方增設紅外線控溫模組(陶瓷板或燈管)以方便對基板進行加熱
  • 溫度精度: 60~150 ±10℃(內)
  • 可裝設溫控區: 1~100 Zones
  • 適用基板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=0.2~1.0mm